真空镀膜成型机操作前的注意事项

更新时间：2026-07-13 点击次数：19

真空镀膜成型机采用箱式结构，抽气系统后臵，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。阀门采用气动，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设臵一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到低的程度。

操作前的注意事项：

基础工况核查：

确认冷却水压力稳定在‌0.2MPa以上‌，压缩空气气压在‌0.4MPa以上‌，供电电压处于370-390V正常区间。

检查设备接地可靠，电气线路无破损松动，所有操作控制开关均处于“关”的初始位置。

机械与真空系统检查：

确认各连接螺钉全部拧紧，尤其是真空系统的密封连接部位，各转动机构传动灵活无卡滞。

检查真空泵运转方向与壳体标注箭头方向一致，弹性联轴器安装到位无错位。

腔体与部件预处理：

打开蒸发室，清洁内壁与内部零件，检查各电极接线正确，电阻蒸发电极不得触碰防污板。

确认热电偶探头无弯折无污染，炉温跟踪仪线缆无破损，保障后续温度测量精度。

安全合规确认：

操作人员按规范穿戴紧袖口工作服，严禁穿拖鞋、高跟鞋上岗，确认设备周边无易燃易爆物品。